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- その他
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- ＜商品概要＞
- サブミクロンを超える回転精度、高剛牲、高耐久性などすぐれた特牲を持つエアベアリング
- 超精密加工技術のキーコンポーネントとして開発されたエアベアリングは、特殊構造により他に類を見ない高い剛性と共に精度はもちろん耐久性においても優れた特性を持っています。
- 詳しい情報は電子材料部までお問い合わせ下さい。
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- 運動精度・再現性比較
- エアベアリングの回転精度は0.05μm以下で出来ており、ボールベアリングと比較して極めて高精度であることがわかります。さらに高精度を求めるときに重要なのは、その再現性が0.01μm以下で、それが半永久的に維持できることです。
- エアベアリングは軸受けに多孔質絞りを用いており、通常の工場給気圧(490kpa)でも汎用的に使用するに充分な剛性が得られ、オリフィス絞りや自成絞りを用いた軸受けに比べて、単位面積あたりの剛性が高く、消費流量が１桁近く少なく、また、他の絞り方式と比較して減衰能も高い特徴を持っています。
＜アプリケーション＞
- 測定用
- 光ディスク用スピンスタンド
- ポリゴンミラー検査
- 加工用
- 研削・切削、ラップ等工作機械用主軸
- その他
- 高精度回転テーブル、割り出しθテーブル
